ZGŁOŚ PROBLEM
ODSYŁACZE
Link do zasobu (skrót):
http://azon.e-science.pl/zasoby/15284Link do zasobu (repozytorium):
https://id.e-science.pl/records/15284Metadane zasobu
Tytuł |
Kształtowanie struktur przestrzennych w krzemie metodą trawienia anizotropowego do zastosowań w mikroelektronice |
---|---|
Osoby |
Autorzy:
Irena Zubel
Partner: Politechnika Wrocławska |
Opis |
Publikacja traktuje o problemach technologicznych, związanych z anizotropowym trawieniem monokryształu krzemu w roztworach alkalicznych. Autorka ukazuje własne koncepcje i rozwiązania na tle ogólnego stanu zaawansowania zagadnień. (Polski) |
Słowa kluczowe | "monokryształ"@pl, "krzem"@pl |
Klasyfikacja |
Typ zasobu:
książka Dyscyplina naukowa: dziedzina nauk technicznych / elektrotechnika (2011) Grupa docelowa: ogół społeczeństwa, naukowcy, studenci Szkodliwe treści: Nie |
Charakterystyka |
Miejsce wydania: Wrocław
Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej Czas wydania: 2004 Liczba stron: 198 ISBN: 83-7085-823-6 Język zasobu: Polski Identyfikatory: OAI: 1420 |
Linki zewnętrzne | |
Licencja | ID-NC-ND |
Informacje techniczne |
Deponujący: Marta Kordas Data udostępnienia: 14-06-2019 |
Kolekcje | Kolekcja Politechniki Wrocławskiej, Kolekcja e-Biblio PWr |
Cytowanie
Irena Zubel. Kształtowanie struktur przestrzennych w krzemie metodą trawienia anizotropowego do zastosowań w mikroelektronice. [książka] Dostępny w Atlasie Zasobów Otwartej Nauki, . Licencja: ID-NC-ND, https://azon.e-science.pl/licencje/ID-NC-ND_PWr.pdf. Data dostępu: DD.MM.RRRR.
Podobne zasoby
Rola defektów sieciowych oraz zmian zachodzących na poziomie mikrostruktury w kształtowaniu właściwości mechanicznych i elektrycznych materiałów monokrystalicznych, polikrystalicznych i ceramicznych
Dorota Nowak-Woźny, książka, Politechnika Wrocławska, dziedzina nauk technicznych / energetyka (2011)