ZGŁOŚ PROBLEMikona ozdobna

Pola oznaczone gwiazdką (*) są wymagane
*
*
*
*
captcha
Zapoznałem/am się i akceptuję regulamin oraz politykę prywatności *

ODSYŁACZE

Link do zasobu (portal):

Link do zasobu (skrót):

http://azon.e-science.pl/zasoby/15284

Link do zasobu (repozytorium):

https://id.e-science.pl/records/15284

Typ zasobu: książka

Kształtowanie struktur przestrzennych w krzemie metodą trawienia anizotropowego do zastosowań w mikroelektronice

Widok

Metadane zasobu

Tytuł Kształtowanie struktur przestrzennych w krzemie metodą trawienia anizotropowego do zastosowań w mikroelektronice
Osoby Autorzy: Irena Zubel
Partner: Politechnika Wrocławska
Opis Publikacja traktuje o problemach technologicznych, związanych z anizotropowym trawieniem monokryształu krzemu w roztworach alkalicznych. Autorka ukazuje własne koncepcje i rozwiązania na tle ogólnego stanu zaawansowania zagadnień. (Polski)
Słowa kluczowe "monokryształ"@pl, "krzem"@pl
Klasyfikacja Typ zasobu: książka
Dyscyplina naukowa: dziedzina nauk technicznych / elektrotechnika (2011)
Grupa docelowa: ogół społeczeństwa, naukowcy, studenci
Szkodliwe treści: Nie
Charakterystyka Miejsce wydania: Wrocław
Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
Czas wydania: 2004
Liczba stron: 198
ISBN: 83-7085-823-6
Język zasobu: Polski
Identyfikatory: OAI: 1420
Linki zewnętrzne
Licencja ID-NC-ND
Informacje techniczne Deponujący: Marta Kordas
Data udostępnienia: 14-06-2019
Kolekcje Kolekcja Politechniki Wrocławskiej, Kolekcja e-Biblio PWr

Cytowanie

Skopiowano

Irena Zubel. Kształtowanie struktur przestrzennych w krzemie metodą trawienia anizotropowego do zastosowań w mikroelektronice. [książka] Dostępny w Atlasie Zasobów Otwartej Nauki, . Licencja: ID-NC-ND, https://azon.e-science.pl/licencje/ID-NC-ND_PWr.pdf. Data dostępu: DD.MM.RRRR.